一般用能產生0.2～0.5吸光度的標準溶液，在最佳工作條件下，連續（中間不能調整零點）測定10次以上，然后計算其標準偏差和變異系數。
 

2. 基線穩定性

是指儀器在一定時間內基線漂移的情況。選擇好波長和通帶，把燈預熱30min，在不點燃火焰的情況下迸行測量記錄，要求吸光度漂移在30min內不能超過0.0004；點燃火焰并吸人蒸餾水后，在10min內不能超過0.0004。
 

3. 邊緣能量

用銫的852.1nm譜線、砷的193.7nm譜線，采用實際使用的光譜通帶記錄譜線的強度。在10min內，瞬時噪聲的吸光度小于0.03；在上述兩條譜線的±1.3nm內，雜散光能量小于2％。8.4 特征濃度（在水溶液中）能產生1％吸收（吸光度為0.0044）所需元素的質量濃度（μg/mL），稱做該元素的特征濃度。在繪制的工作曲線上，在吸光度0.1附近查得相當于吸光度改變量ΔA＝0.10的質量濃度改變量Δρ（μg/mL）。然后按下式計算特征濃度：

4. 檢出限

能以適當的置信度，測出被測元素的最小濃度（或質量濃度）或最小量。選取一份標準溶液，濃度c約等于資料所給出該元素檢出限的5倍或10倍，在擴展10倍的條件下，連續測定10次，求得吸光度平均值為A，標準偏差為s，按下式計算檢出限（χDL）：
 

5. 波長準確性和重現性

實際調出的波長與理論波長允許相差±0.5nm，重復測量波長的誤差應為0.3nm。
 

6. 儀器實際分辨率

在光譜通常為0.2nm時，能清楚分開鎳三線（232.0、231.6、231.0nm），232.0與231.6nm之間的波谷透過率小于或等于232．0nm的發射強度的25％。232.0nm的背景透過率小于或等于10％，其實際分辨率為0.5nm。能分開汞的265.20、265.37、265.51nm的譜線組，實際分辨率為0.1nm；能分開汞的365.0、365.5、366.3nm的譜線組，實際分辨率為0.7nm。